多晶硅還原爐冷卻水管路中的的流量開關應用

多晶硅還原爐冷卻對于現場安全至關重要，如不能及時對冷卻水進行監控，將引起氫氣泄漏，引起爆炸。熱式流量開關根據其產品特點——無可動部件，全不銹鋼材質，防護等級高可全面滿足化工行業尤其是在冷卻水或是潤滑油路上，是大多數化工企業常用的開關類儀表！

多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質。

熱式流量開關在多晶硅還原爐水冷卻中的應用

還原爐里面是用純的氫氣以及三氯氫硅，在1100°條件左右進行反應，生成的硅沉積在硅棒表面，慢慢的生長，一般都要72小時以上時間不間斷的供料供電。爐壁式夾層，用循環水進行冷卻。

危險系數極高，主要體現在以下幾個方面：

1、冷卻水供應不上燒壞爐壁，濺落爐內造成爆炸；

2、電極和視鏡是整個還原爐最脆弱的地方，一定要保證冷卻水；

3、氫氣可能泄露，引起爆炸；

比利科技優質產品-熱式流量開關

熱式流量開關工作原理：

基于熱式原理,在封閉的探頭內包含兩個電阻，其中一個被加熱作為探測電阻，另一個未被加熱作為基準電阻,當有介質流動時，感熱傳感器所接收到的熱量將隨介質的流速變化而變化，感熱傳感器將這溫差信號轉化成電信號，在流速達到某設定點時，熱式流量開關輸出開關量信號。

熱式流量開關原理圖

熱式流量開關特點：

無活動部件，免維護。

安裝方便，一種型號適用于多種管徑要求。

開關量連續調節，極低的壓力損失。

結構緊湊，LED顯示流動趨勢及開關狀態。

熱式流量開關技術參數